太陽能電池片硼源擴散綜述
作者：吳志明; 張威; 張寶鋒; 趙志然 中國電子科技集團公司第四十八研究所; 湖南長沙410000
摘要：對國內(nèi)近十年來硼擴散技術(shù)的進展進行了介紹,引用不同科研人員的研究成果說明以下結(jié)論:采用旋涂SiO2納米漿料作為硼源,能夠改善太陽能電池片擴散區(qū)域方塊電阻的均勻性,粒徑越小,均勻性越好;改善管內(nèi)進氣方式,增大硼源進氣口距離太陽能電池片的距離,能夠改善太陽能電池片擴散區(qū)域方塊電阻的均勻性;在BBr3液態(tài)源高溫擴散過程中引入二氯乙烯,能夠提高硼擴散的片內(nèi)均勻性和片間均勻性。
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電子工業(yè)專用設(shè)備雜志
電子工業(yè)專用設(shè)備雜志， 雙月刊，本刊重視學術(shù)導向，堅持科學性、學術(shù)性、先進性、創(chuàng)新性，刊載內(nèi)容涉及的欄目：先進封裝技術(shù)與設(shè)備、半導體制造工藝與設(shè)備、電子專用設(shè)備研究、專用設(shè)備維護與保養(yǎng)等。于1971年經(jīng)新聞總署批準的正規(guī)刊物。
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