摘要：為了精密檢測(cè)靶丸X射線光學(xué)厚度均勻性,建立了基于精密軸系和光纖陣列探測(cè)的靶丸X射線光學(xué)厚度檢測(cè)裝置,開展了光學(xué)厚度輪廓儀光路精密調(diào)校技術(shù)的研究,應(yīng)用白光共焦光譜技術(shù)和光學(xué)顯微成像技術(shù),解決了氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)精密調(diào)整、X射線光路對(duì)中的難題,實(shí)現(xiàn)了對(duì)塑料靶丸殼層缺陷、表面質(zhì)量、壁厚均勻性、殼層材料成分均勻性等多種耦合擾動(dòng)綜合效應(yīng)的表征。對(duì)系統(tǒng)的穩(wěn)定性進(jìn)行了測(cè)試,實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明,該系統(tǒng)的測(cè)量重復(fù)性偏差可基本控制在0.01%以內(nèi),空間分辨率約為100μm,滿足ICF靶物理研究對(duì)靶丸X射線光學(xué)厚度擾動(dòng)的高精度檢測(cè)需求。