摘要：研究定向凝固對提高多晶硅提純工藝具有重要意義。進行全尺寸的多晶硅定向凝固實驗周期長,成本高,采用與液態(tài)硅熱學、流體力學性質相近的低溫流體進行模擬實驗,實驗設備簡單靈活,成本低廉,實驗周期短。采用常規(guī)加熱與新型點狀熱源加熱方式進行對比實驗,實驗結果表明,用點狀熱源加熱減少了加熱器的布置數量,依然可以維持固液界面的水平,較常規(guī)加熱方式降低能耗約37%,可以為多晶硅的實驗與生產工藝提供參考。