摘要：由于傳統(tǒng)加工方法不能解決PMMA微流道的加工質(zhì)量不好和效率低的問題,本文對超快激光直寫PMMA制備微流道的燒蝕機理和工藝參數(shù)進行了研究。根據(jù)實驗分析不同的激光功率、加工速度和加工次數(shù)對微流道的寬度和橫截面的影響規(guī)律,利用超快激光加工系統(tǒng)制備微流道,并采用超景深三維顯微鏡觀測微流道的表面形貌。實驗結(jié)果表明,當超快激光的加工速度為20 mm/s時,激光功率為1.5 W時,制備的微流道的寬度較小、寬度趨勢比較平穩(wěn);當超快激光作用PMMA的次數(shù)一樣,由于加工速度逐漸增加,制備的微流道其寬度和激光的加工速度保持線性增加。當加工速度越大時,微流道的寬度較小、且壁面趨勢相對平緩,而當加工速度一定,超快激光的輸出功率在1.5 W時,微流道內(nèi)壁區(qū)域不易出現(xiàn)殘渣堆積和氣泡隆起現(xiàn)象。本文通過優(yōu)化超快激光加工系統(tǒng)的工藝參數(shù),從而加工出尺寸精度高、表面光滑、寬度為20~90μm的微流道芯片。