單晶圓擦洗技術(shù)及優(yōu)化方案的研究

單晶圓擦洗優(yōu)化

作者：王文麗; 黃鑫亮; 夏楠君; 祝福生; 趙寶君; 王勇威中國電子科技集團公司第四十五研究所; 北京101601

摘要：本文基于單晶圓擦洗的原理,分析了單晶圓擦洗常見的兩種方案的缺點,提出了適合單晶圓擦洗的優(yōu)化方案。

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